供应五星 电火花用等静压石墨圆 大规格 Ф830×750

在直拉单晶硅热场中，等静压石墨部件有坩埚、加热器、电极、隔热遮蔽板、籽晶夹持器、旋转坩埚用的底座、各种圆板、热反射板等约30种。
其中，80%的等静压石墨用于制造坩埚和加热器等。 近年来，对单晶硅棒的直径要求越来越大,300 mm晶片的生产日益成为主流。
与此相应，单晶炉加热区的直径大多为800 mm，炉内的石墨坩埚为了保 护放置其中的石英坩埚，直径达到了860 mm，加热器直径约960～1000 mm，其他部件的直径有的较大达到了1500 mm。